compound interface treatment and passivation technology
化合物界面处理和钝化技术
基于mbe原子级修饰能力的新型钝化技术
兼容原子氢界面清洗&真空解理镀膜
优异的单晶外延钝化层质量
closed loop low-temperature sample holder 6-axis
闭循环低温样品架6轴
最高可达6自由度
rt至6k,<4小时
使用gm机制冷机制冷,运行成本低
mbe1000-clsuter
生产型mbe系统,经济高效产量高
实时监控生长状态
满足semi s2要求
产品概述:
fermi-rfps-200是费勉仪器公司最新生产的一种高效射频等离子体源,通过线圈式结构,能在真空腔体内激发产生等离子体,激励气体种类包括但不限于h2、n2、o2、稀有气体等,具有更好的稳定性以及更精确的操控性,广泛应用于分子束外延系统(mbe)中氮化物生长、氮原子注入和掺杂、氧化物生长、氧原子的注入和掺杂、氢化物生长以及氢原子表面清洗等。
产品概述:
费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制,它主要由低温样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。样品台可以在x、y、z方向大范围移动,并可实现绕三个轴的旋转运动(旋转角r1、俯仰角r2、面内旋转角r3)。
产品概述:
桌面减震型低温光学恒温器,采用gm制冷机做冷源,无液氦消耗。多级隔振设计使样品台震动小于200nm。样品台最低温度达3.6k。
公司致力于利用底层的科学原理,为全球学术及研究机构、工业客户等,提供新技术、新工艺及新材料等领域的整体凯发k8国际唯一的解决方案。
在10余年的发展道路上,费勉仪器始终坚持"自主研发 技术创新",在超高真空、低温、薄膜制备及等离子四个技术领域,都有丰富的技术积累和成熟产品线,代表性产品已在国内外众多知名高校、研究机构及工业客户中,得到了广泛应用和认可。
费勉仪器拥有健全、稳定的技术团队和管理团队,在学术界及工业领域都有深入而广泛的合作。公司已获得上海市高新技术企业、上海市专精特新企业、上海市科技小巨人培育企业等多项荣誉。
2012年
公司成立于
30%
研发人员占比
20000m²
场地规模(独立的生产及办公空间)
151项
专利与认证持续更新中