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低温真空手提箱
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产品亮点 highlights
● 全金属密封臭氧液化池
● 无硅胶吸附剂
● 闭循环制冷机自动控温
● 提纯速度快,准备时间只需30分钟；提纯1小时，能产出约4标升高纯臭氧气体，可满足大部分用户十小时以上的生长需求
● 设计紧凑，尺寸 400*700*1200mm(高）
● 操作简便，即起即停
● 高纯臭氧应用领域：半导体，化学气相沉积（cvd），原子层沉积（ald），氧化物生长，表面处理，粒子清洁，光刻胶去除，灰化等。
测试曲线图 test curve
| —————— 实测饱和蒸汽压数据 —————— | —————— 臭氧输出束流的稳定性和持续性 —————— |
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—————— 注入腔气压与液化池温度关系 —————— |
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