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产品概述 product overview

费勉bl-1100s 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使用多种工作气体(he, xe),满足小光斑,气压增量小的要求。


规格说明 specification

● 可伸缩调节机制
● 75mm行程线性驱动
● 角度调节机制:倾角范围:±3°
● 固态射频电源,射频线缆
● 强制风冷和水冷
● 兼容超高真空,全金属密封


测试报告 test report


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标签: 紫外光源
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