高亮度多气体真空紫外光源(bl-1000s)
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产品概述 product overview
费勉bl-1100s 是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使用多种工作气体(he, xe),满足小光斑,气压增量小的要求。
规格说明 specification
测试报告 test report
视频 video
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