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闭循环低温样品架-4轴
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产品概述 product overview
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费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在x、y、z方向大范围移动，并可实现绕三个轴的旋转运动（旋转角r1、俯仰角r2、面内旋转角r3）。其中，x/y/z/r1通过xyz-r1位移台实现，r2和r3通过样品杆的齿轮传动结构实现。 马达控制软件可以与scientaomicron的分析器联动，实现automapping功能。 |
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产品亮点 highlights
● 运行成本低：采用风（水）冷式gm制冷机提供冷量
● 多自由度：可实现全马达6轴控制
● 操作便捷：即插即用，可长时间稳定运行
● 超低温：样品台最低稳定可达6k
● 精准控温：pid控温精度可达10mk
● 快速变温：从室温至6k，小于4小时
● 多种功能模块可选
相关配件 options
● 样品停放台
● 双样品低温样品台
● 高温样品台（可选电子束加热）
● yag台
● 样品浮动模块
● 低温解理模块
● 四电极输运测量模块
技术规格 mechanical specifications
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r1轴向旋转 |
360°（-180°， 180°） |
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r2俯仰角旋转 |
60°（-15°， 45°） |
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r3面内角旋转 |
240°（-120°， 120°） |
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x / y行程 |
25mm（±12.5mm） |
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z行程 |
最大650mm |
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4-轴 | 5a-轴 | 5f-轴 | 5.5-轴 | 6-轴 |
| xy行程 | ±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
±12.5mm |
| z行程 | 最长700mm |
最长700mm |
最长700mm |
最长700mm |
最长700mm |
| xyz驱动 | 手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
| xyz精度 | ＜0.01mm |
＜0.01mm |
＜0.01mm |
＜0.01mm |
＜0.01mm |
| r1范围 | 360°（-180°， 180°） |
360°（-180°， 180°） |
360°（-180°， 180°） |
360°（-180°， 180°） |
360°（-180°， 180°） |
| r1控制方式 | 手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
手动/马达 |
| r1控制精度 | ＜0.1° |
＜0.1° |
＜0.1° |
＜0.1° |
＜0.1° |
| r1减速比 | 360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
360:0.2 |
| r2（flip)范围 | —— | —— | 60°（-15°， 45°） |
60°（-15°， 45°） |
60°（-15°， 45°） |
| r2驱动 | —— | —— | 马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| r2精度 | —— | —— | ＜0.1° | ＜1° | ＜0.1° |
| r2减速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
| r3（azi)范围 | —— | 240°（-120°， 120°） | —— |
240°（-120°， 120°） |
240°（-120°， 120°） |
| r3驱动 | —— | 手动/马达 | —— |
手动 |
手动/马达 |
| r3精度 | —— | ＜0.1° | —— | 手动＜1° | ＜0.1° |
| r3减速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
| 温度范围 | ＜4-325k |
＜5-325k |
＜5-325k |
＜6-325k |
＜6-325k |
| 最低温度 | ＜4k |
＜5k |
＜5k |
＜6k |
＜6k |
| 控制精度 | ＜0.01k |
＜0.01k |
＜0.01k |
＜0.01k |
＜0.01k |
| 降温时间 | ＜3 hour (rt-6k) |
＜4 hour (rt-6k) |
＜4 hour (rt-6k) |
＜5 hour (rt-6k) |
＜6 hour (rt-6k) |
降温曲线 cooling curves
视频 video
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