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3英寸专用高温样品架
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产品概述 product overview
5轴mbe高温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)、面内旋转角r3（azimuthal）。其中，x、y、z、r1通过xyz-r1真空位移台实现， r3通过样品架头的齿轮传动机构实现。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200k。整个样品操纵系统主要包括样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。
产品亮点 highlights
● 样品托最高温：1200k （辐射加热）， 1500k（电子束加热）；
● 多自由度： x、y、z、r1、r3五个自由度运动；
● 精准控温：pid控温精度可达±0.1k；
● 兼容多种功能模块；
技术规格 mechanical specifications
|
r1轴向旋转 |
±179° |
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x/y 行程 |
±12.5mm |
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z 行程 |
最大 300 mm |
| 面内旋转 | 360° |
相关配件 options
● 液氮冷却模块；
● e-beam加热；
● 高低温热隔离模块；
● 红外测温组件；
升温测试曲线图 test curve
视频 video
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