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3英寸专用高温样品架
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产品亮点 highlights
● 加热器材料：sic
● 样品托最高温：1200k
● 两自由度：z和r1
● 精准控温：pid控温精度可达±0.1k
● 兼容掩膜板（mask）
● 重复定位精度：2μm
● 旋转角度: 0°，90°，180°，270°
技术规格 mechanical specifications
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r1轴向旋转 |
360° |
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z 行程 |
75mm |
视频 video
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