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高纯气路面板
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产品概述 product overview
费勉设计一款多滤片快速切换装置，在腔体真空度不变的情况下能够使多种工作气体（he, ne, ar, kr, xe...）满足多光子能量输出的需求。
规格说明 specification
● 匹配bl1010s和bl1200s系列真空紫外光源
● 特殊设计的多滤波片快速切换结构，包含4个滤波片
● 在一个vuv光源中兼容he、ne、ar、kr和xe
● 更换便捷，无需破坏主腔真空
| 气体 | 能量 (ev) | 波长（nm) | 电流（na) | 光子数photons/s |
| he | 21.2 | 58.5 | 33.8 | 1.56e12 |
| ne | 16.85 | 73.59 | 11 | 4.43e11 |
| ar | 11.83 | 104.82 | 7.5 | 4.96e11 |
| kr | 10.03 | 123.58 | 2.4 | 7.5e11 |
| xe | 8.43 | 146.96 | 1.5 | 9.3e13 |
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