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产品概述 product overview
费勉仪器具有专业的腔体加工技术，采用氩弧焊或是一体成型技术等，超高真空兼容，适用于半导体、科研、新材料等场景，有蝶形、球形、钟罩型等各种不同的形状，腔体连接口的数量和大小可定制，材质有ss316，ss304等等，表面处理有磨砂、拉丝、镜面、电抛等多种工艺可选，满足用户不同需求。
规格说明 specification
| 腔体名称 | 结构示意图 | 高度（mm) | 直径（mm) | 角度公差（°） | 线性偏差（mm) | 极限真空（mbar) | 粗糙度(μm) |
|
圆筒形真空腔体 |
|
＜1500 | 42-2200 | ±0.5 |
±0.5 |
2×10-10 | ＜0.5 |
|
钟罩形真空腔体 |
|
＜1500 | 150-2200 |
±0.5 |
±1 |
2×10-10 |
＜0.5 |
|
球形真空腔体 |
|
/ | 200-1200 |
±0.5 |
±0.5 |
5×10-10 |
＜0.5 |
|
蝶形真空腔体 |
|
＜1500 | 200-2200 |
±0.5 |
±1 |
5×10-10 |
＜0.5 |
|
长方形真空腔体 |
|
/ | / |
±0.5 |
±2 |
2×10-10 |
＜0.5 |
| 椭球形真空腔体 |
|
＜1500 | 70-2200 |
±0.5 |
±1 |
2×10-10 |
＜0.5 |
|
mbe300 |
|
/ | 250 |
±0.5 |
±1 |
5×10-10 |
＜0.5 |
|
mbe800 |
|
/ | 650 |
±0.5 |
±1 |
2×10-10 |
＜0.5 |
|
直线段真空腔体 |
|
＜1000 | ≥152 |
±0.5 |
±2 |
2×10-10 |
＜0.5 |
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