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标准蒸发源坩埚装料操作-凯发k8官网下载客户端中心
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第一步：准备以下材料以及工具；
材料：
①蒸发材料 ②标准蒸发源
工具：
①镊子（洁净） ②无尘服 ③无尘手套 ④口罩 ⑤真空用铝箔
⑥无水酒精 ⑦超净布 ⑧蒸发源支撑架
第二步：安全检查，在操作蒸发源之前一定要确认之前的蒸发源生长过何种材料。有一部分材料属于有毒性的例如te，或者属于易燃易爆物品的例如碱金属，一定要按照msds的规范操作采用特殊工艺，以下仅针对无毒无害材料的装料做说明。
第三步：确认安全后，穿戴无尘服、无尘手套及口罩，先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松，再将磁耦合旋转驱动旋转至90度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于打开位置）。
第五步：使用超净布蘸取无水酒精擦拭镊子，在横放的情况下使用镊子缓慢取出坩埚顶部的坩埚压片（避免残留材料跌落），将坩埚压片暂放在洁净的铝箔纸上。
第六步：小心取出坩埚，请注意某些陶瓷坩埚例如pbn由于壁厚和材质的原因非常脆弱，务必轻拿轻放。
第七步：目视检查坩埚，确认坩埚没有异常，检查坩埚内容物，一般不建议新旧材料混用，以及不同种材料混用。如有必要需要清空坩埚并使用超声波清洗或者更换新的坩埚。
第八步: 握住坩埚倾斜30-45度，使用洁净的镊子将材料沿坩埚壁缓慢滑入，过程中需要避免大颗粒材料猛烈撞击坩埚底部造成坩埚损坏。建议装料量最大不超过坩埚容积的三分之一。需要蒸发其他材料时需更换新坩埚以及坩埚压片避免交叉污染。
第十步：确保坩埚安装就位稳定后，先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松，再将磁耦合旋转驱动旋转至0度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于关闭位置）。
第十一步：将蒸发源竖直放置于专用支撑架上（待装入腔体），避免坩埚材料滑出。对于活泼敏感材料，建议尽早进入真空环境，以免材料发生氧化或吸水变性。安装前检查蒸发源电极间的电阻以及接地电阻，对比出厂数据，确保各项参数正常。
第十二步：接触材料的坩埚，铝箔，或者工具等，都需要及时收纳更换/清洗，分类摆放，避免交叉污染。
安装时注意事项
2.装料前请确认材料和坩埚的种类相匹配，部分材料会和特定坩埚发生反应或者共融，不合理的匹配将会影响生长甚至造成设备损坏；
3.有任何疑问请咨询我司技术部门，邮箱：surface-science@fermi.com
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