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标准蒸发源拆装操作-凯发k8官网下载客户端中心
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第一步：准备以下材料以及工具
①cf35铜垫圈,1个
②不锈钢内六角螺丝（螺丝长度视安装法兰而定），6个
③ø6mm平垫,6个
④cf35板状螺帽,2个（视安装法兰而定）
⑤蒸发源，1个
⑥蒸发源支架，1个
工具：
①无尘手套
②无水酒精
③超净布
④5mm内六角扳手
⑤无尘服
第二步：安全检查，确保腔体已经停止抽真空，并采用高纯氮恢复到大气压，确认腔体内的材料无毒无害；
第三步：穿戴无尘服、无尘手套，先把磁耦合旋转驱动上的锁紧螺丝拧松，再将磁耦合旋转驱动旋转至0度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于关闭位置），确保不会与腔体内壁发生干涉；
第四步：使用超净布蘸取酒精擦拭蒸发源刀口和铜垫圈并目视检查无瑕疵，将铜垫圈放在蒸发源法兰刀口或者安装法兰刀口上（面向上者）；
第五步：使用超净布蘸取酒精擦拭法兰刀口，并小心地将蒸发源插入腔体，确保蒸发源真空外部件不与其他物体干涉；
*在第四步和第五步中，必须检查密封刀口及铜垫圈是否完好无划伤，如果有异常则必须停止安装。
第六步：检查水冷的方向。必要时，旋转蒸发源以确保出水口处于较高位置。（即正立安装，低进高出；倒立安装，高进低出）；
第七步：轻微的来回转动蒸发源法兰，确保铜垫圈与法兰吻合，并使上下两个法兰通孔对位；
第八步：将带有垫片的不锈钢内六角螺丝插入通孔内，同时另外一侧用板状螺帽(或者m6螺母)固定，螺丝拧入板状螺帽中(或者m6螺母)，交叉拧紧螺丝；用合适的松紧程度将每个螺丝顺时针每次拧1/4或者1/2圈；
第九步：用万用表测量加热丝电阻值和热电偶是否正常，可对比原厂的出厂报告；
第十步：用5mm内六角扳手顺时针均匀拧紧所有螺丝；
第十一步：接水路并加压确保无泄漏；
第十二步：接电源线和热偶线。
腔体上拆蒸发源步骤
第一步：准备以下材料和工具
②铜垫圈，1个
③蒸发源支架，1个
工具：
①无尘手套
②无水酒精
③超净布
④无尘服
⑤5mm内六角扳手
第二步：安全检查，确保腔体已经停止抽真空，并采用高纯氮恢复到大气压，确认腔体内的材料无毒无害；
第三步：穿戴无尘服、无尘手套，腔体破真空后，移除电馈通电缆（电源线和热偶线），关闭水冷，移除水冷管，用压缩空气吹干净残余冷却水避免污染工作场地；
第四步：检查磁耦合旋转驱动刻度，确认在0度并把锁紧螺丝锁紧（即挡板处于关闭位置），确保不会与腔体内壁发生干涉；
第五步：用内六角扳手均匀的预松开法兰通孔内螺丝；
第六步：一只手托住蒸发源，另外一只手拆卸螺丝，直至螺丝全部拆卸完毕；
第七步：小心取出蒸发源，避免与腔体的内壁及法兰刀口碰撞，将蒸发源正立于架子上；
第八步：使用cf35盲板封堵安装法兰。（如果短时间内将蒸发源装完料后装回腔体，那么只需用洁净的铝箔纸封堵安装法兰刀口）
*如果蒸发源和挡板是分离安装的，建议检查挡板。随着系统使用挡板上会积累原材料，建议定期清理污染系统或者蒸发源。
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