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标准蒸发源
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产品概述 product overview
高温蒸发源设计用于2000°c以下的超高真空系统运行。陶瓷支撑加热元件的概念在这里不再有效，因为：大多数陶瓷在如此高的温度下是半导的，因此很难绝缘；pbn在1500°c以上分解显著。
为了克服这些问题，制作一种自支撑加热丝，成为开发高温蒸发源的关键。有了这种由粗钨丝制成的自支撑加热丝，更高版本的高温蒸发源甚至可以达到2000°c。
为防止加热元件对法兰的辐射加热，同时能够在最大功率运行时冷却电极，高温蒸发源配置了一个内置电极水冷套。同时，为了防止腔室被辐射加热，建议增加外置水冷套。
规格说明 specification
● 加热系统：辐射加热，w丝
● 兼容oxide mbe
● 温度稳定性：≤0.1%，取决于pid控制器
● 水冷系统：内置电极水冷，和选配外置水冷
● 超高真空兼容，极限真空10-11mbar
● 兼容oxide mbe
● 温度稳定性：≤0.1%，取决于pid控制器
● 水冷系统：内置电极水冷，和选配外置水冷
● 超高真空兼容，极限真空10-11mbar
| 法兰尺寸 | 坩埚尺寸 | 工作温度 | 最大除气温度 | 热电偶 | 精确度 | 型号 |
|
nw38cf(o.d. 2.75”) |
10 cc |
800~1800℃ | 1900℃ | c |
±0.1% |
e38ht |
| 1000~2000℃ | 2000℃ | c | e38ut |
测试曲线图 test curve
| —————— 功率测试 —————— | —————— 束流温度曲线 —————— |
 |
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产品尺寸 dimension drawing
视频 video
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