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高温蒸发源
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产品概述 product overview
标准低温(lt)和中温(mt)蒸发源的最大工作温可达1100℃ 和1500℃。蒸发源内部采用独特的加热丝设计，可确保坩埚受热均匀，同时有更好的使用稳定性，和更长的使用寿命。中间采用多层线接触式钽筒隔热，大大降低了热辐射损失，提高了热量利用率，使其在较低的功率下即可达到较高的工作温度。蒸发源水冷系统采用内置水冷套设计，屏蔽了高温加热区域对腔体内壁的辐射，可有效减少腔壁放气，为样品生长提供了更好的真空条件，同时提高了温度测量精度。
除了标准加热丝外，热口和冷口型的加热丝设计可以满足特殊要求的蒸发材料。
规格说明 specification
● 加热系统: 辐射加热，带有pbn支撑片的ta加热丝
● 兼容oxide mbe
● 温度稳定性：≤0.1%，取决于pid温控器
● 超高真空兼容，极限真空10-11mbar
● 内置水冷模块
● 挡板：可选ta挡片（手动/气动)
● 兼容oxide mbe
● 温度稳定性：≤0.1%，取决于pid温控器
● 超高真空兼容，极限真空10-11mbar
● 内置水冷模块
● 挡板：可选ta挡片（手动/气动)
| 法兰尺寸 | 坩埚尺寸 | 工作温度 | 最高除气温度 | 热偶类型 | 温度稳定性 | 型号 |
|
nw38cf(o.d. 2.75”) |
10 cc |
100~1100℃ | 1200℃ | k |
±0.1% |
e38lt |
| 300~1500℃ | 1600℃ | c | e38mt | |||
|
nw63cf(o.d. 4.50”) |
25/50 cc |
300~1100℃ |
1200℃ |
k |
±0.1% |
e63lt |
|
300~1500℃ |
1600℃ |
c | e63mt |
测试曲线图 test curve
| —————— 功率测试 —————— | —————— 铜束流温度曲线 —————— |
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| —————— 铜薄膜沉积曲线 ——————— | —————— 温度稳定性测试 —————— |
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产品尺寸 dimension drawing
| nw38cf | nw63cf |
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视频 video
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