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mbe-1000全自动分子束外延系统
2021-04-01

产品概述 product overview 费勉仪器推出了mbe-1000分子束外延系统，可进行5×3，4×4，单片6, 单片8衬底外延生长。该系统可实现全自动传样和生长，非常适用于化合物半导体器件的批量生产。生长室采用双温区衬底加热，实现生长温度均匀可控。mbe-1000系统包含1
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mbe-800
2021-02-02

产品概述 product overview 为了实现在4英寸晶圆上外延生长半导体材料，费勉仪器推出了mbe-800分子束外延系统。标准版系统采用双温区衬底加热器，并包含12个蒸发源端口，可实现复杂结构薄膜的精确逐层生长。mbe-800的定制版本也涵盖了特定的生产需求，例如超高真空离子
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mbe-600
2021-01-12

产品概述 product overview mbe-600系统非常适合iii-v，ii-vi和其他化合物半导体材料应用，该系统可以对1、2和3英寸衬底进行外延，并且其垂直腔室设计以及各种先进组件可实现逐层精确的外延。 mbe-600的突出特点是系统的高可靠性、多功能性和紧凑性，这些功能使mbe-600
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mbe-350
2021-02-08

产品亮点 highlights ● 生长腔为柱状结构，材质为ss316不锈钢 ● 模块化设计，既满足现有材料制备的需求，也提供未来扩展可能性● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料（衬底尺寸最大可达2-inch）制备的需求 ● 针对氧化物薄膜生长进行设计、配置优化● 应用范
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mbe-300
2021-01-15

产品亮点 highlights ● 生长腔为柱状结构，材质为ss316不锈钢 ● 模块化设计，既满足现有材料制备的需求，也提供未来扩展可能性● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料（衬底尺寸最大可达1-inch）制备的需求 ● 应用范围广，如：超导薄膜，拓扑绝缘体，氧化物，
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sphere-300
2021-01-14

产品亮点 highlights ● 生长腔为球型结构，材质为ss316不锈钢 ● 模块化设计，既满足现有材料制备的需求，也提供未来扩展可能性● 结构紧凑，占地面积小 ● 配置及性能指标满足高精度薄膜材料制备的需求● 应用范围广，如：超导薄膜，拓扑绝缘体，过渡金属硫
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