您当前的位置：
mbe-1000cluster全自动传样系统
查看详细
产品概述 product overview
为了实现在4英寸晶圆上外延生长半导体材料，费勉仪器推出了mbe-800分子束外延系统。标准版系统采用双温区衬底加热器，并包含12个蒸发源端口，可实现复杂结构薄膜的精确逐层生长。mbe-800的定制版本也涵盖了特定的生产需求，例如超高真空离子辅助镀膜系统。
mbe-800系统具有高可靠性、多功能性和紧凑性，可兼容4英寸以下衬底外延生长。该系统不仅可以作为应用研发设备，同时也适用于准批量生产应用。
| mbe-800手动传样系统 |
|
 |
mbe-800手动传样系统，采用磁耦合传样杆，可进行4英寸样品传递。机械手行程可达1200mm，满足衬底在生长腔室和预处理腔室之间传递。同时机械手可在垂直方向提供25mm的移动空间，满足衬底取放操作。该传样系统无需使用二次运动工具，在降低成本的同时极大的简化了衬底传输步骤。 |
| mbe-800全自动传样系统 |
|
 |
mbe-800 cluster全自动传样系统，将不同腔体集成在圆形传样腔上，并搭配360°连续旋转的机械臂组件，最大行程1350mm，可以实现衬底在不同腔室之间的真空传递。通过高扭矩磁耦合驱动器驱动机械臂旋转，并由安装在机械臂前端的定位基片实现精准定位。机械臂通过线性驱动可以在垂直方向提供0~25mm自由移动，实现衬底的取放操作。 |
根据客户需求，费勉仪器提供不同型号的热蒸发源、裂解源、电子束蒸发源和气体源。系统可安装rheed、qcm、bfm、rga、ofm等，实现对薄膜生长的原位监控。费勉仪器提供mbe操作软件，包括生长工艺程序编写、自动生长控制和不间断数据记录三大功能，可以执行生长工艺程序控制挡板运动，源炉温度，衬底温度，衬底旋转速度和方向。控制软件包括温度曲线，真空压力曲线，电源输出功率曲线，各系统间传样等工艺需求功能，保证生长过程的可重复性和安全性。
技术规格 mechanical specifications
|
|
配置 | mbe-800 |
|
生长室 |
腔体尺寸 |
650mm i.d. |
| 极限真空 |
<2×10-10mbar |
|
| 液氮冷屏 | 标配 | |
|
冷屏通液氮后极限真空 |
<5×10-11mbar |
|
|
衬底加热器最高温度 |
1000℃ |
|
|
衬底加热器温度稳定性 |
pid控制，±0.5℃ |
|
|
衬底最大尺寸 |
4 inch |
|
|
衬底旋转 |
60rpm |
|
|
蒸发源配置 |
cf63×2／cf100×7 / cf125×3 |
|
|
独立的蒸发源挡板 |
电机驱动 |
|
|
离子规 |
1×10-3~2×10-11mbar |
|
|
烘烤温度 |
200℃ |
|
| 预处理 | 极限真空 |
<2×10-10mbar |
| 腔体水冷夹层 | 选配 | |
|
预处理加热器最高温度 |
450℃ |
|
| 离子规 |
1×10-3~2×10-11mbar |
|
| 进样室 | 极限真空 |
<1×10-8mbar |
| 腔体水冷夹层 | 选配 | |
| 样品停放台 | 4~10个 | |
| 红外烘烤灯 | 选配 | |
|
全量程规 |
1×103~5×10-9mbar |
|
| 传样室 | 极限真空 |
<5×10-10mbar |
| 传样时压力 |
<1×10-9mbar |
|
| 手动传样最大行程 | 1200mm | |
| 自动传样最大行程 | 1350mm | |
| 离子规 |
1×10-3~2×10-11mbar |
|
| 存储室 | 样品停放台 |
10个（选配） |
| 系统控制 |
触摸屏操作面板 |
加配 |
|
生长工艺程序编写 |
加配 | |
|
自动生长控制 |
加配 | |
| 不间断数据记录 | 加配 | |
| 报警保护功能 | 加配 | |
| 联锁功能 | 加配 | |
| 选配 | ccd | 选配 |
| 手套箱 | 选配 | |
|
磷回收系统 |
选配 | |
|
衬底红外测温系统 |
选配 | |
|
真空照明系统 |
选配 | |
| sms | 选配 |
|
|
||
|
|
||
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
视频 video
相关下载 related downloads
