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薄膜制备

thin film fabrication

薄膜外延技术，是半导体等新材料研发制备的关键技术。费勉仪器致力于分子束外延生长技术的国产化，成功开发了大中小不同系列科研用mbe系统及各种核心部件。其中蒸发源产品覆盖了从最低零下50℃到最高3500℃的蒸发范围。产品成功交付国内外知名大学和研究所。

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