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远程低温等离子处理机
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产品概述 product overview
fermi-rfps-200是费勉仪器公司最新生产的一种高效射频等离子体源，通过线圈式结构，能在真空腔体内激发产生等离子体，激励气体种类包括但不限于h2、n2、o2、稀有气体等，具有更好的稳定性以及更精确的操控性，广泛应用于分子束外延系统（mbe）中氮化物生长、氮原子注入和掺杂、氧化物生长、氧原子的注入和掺杂、氢化物生长以及氢原子表面清洗等。
规格说明 specification
● 高效稳定的氮化物、氧化物、氢化物生长
● 精确的操控性能，简单易用
● 可以根据需求更换引出端口
● 内有原子筛选孔,使离子体尽可能少的到达衬底
● 适用于mbe、真空解理镀膜、氢原子衬底清洗等系统
| 类型 | fermi-rfps-200 | |
| 真空兼容性 |
cf100标准法兰 |
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气体负载 |
n2，h2 |
o2,h2 |
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离子产生区材料 |
pbn |
石英 |
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冷却方式 |
水冷 | |
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进气装置 |
vcr1/4接头 | |
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真空工作距离 |
100-200mm | |
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射频匹配器 |
13.56mhz/500瓦 |
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水冷流速 |
>1 l/min | |
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手动、自动射频匹配器 |
可选 |
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等离子体光谱检测 |
可选 |
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测试曲线图 test curve
原子氢衬底脱氧处理及外延测试：
mbe生长用射频离子源实际案例：真空解理镀膜系统
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视频 video
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