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高束流射频等离子体源
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产品概述 product overview
采用自主研发的新型远程低温等离子激励技术，实现等离子发生室和处理室分离，解决了传统电离技术的多种困扰。该款产品属于紧凑型的桌面式等离子处理机，容积为27l，适用于处理小、中型部件及物品，根据不同的需求和工艺要求，可以实现物品表面清洗、表面改性、表面活化等功能，处理过程采用自动化控制。该等离子激励技术可以实现更大容积（一立方以上）的处理设备，加快产线处理效率，可根据不同的应用和工艺需求，提供定制化产品。
规格说明 specification
● 外形尺寸：700mm(l)×550mm(w)×625mm(h)
● 处理容积：27l
● 工作气压：5pa-50pa
● 系统控制：plc 触摸屏控制
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