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  • 高亮度多气体真空紫外光源
    2020-03-16
    产品概述 product overview fermi bl-1000s真空紫外光源是费勉仪器基于革命性的局域场等离子机制,结合固态射频源技术,开发出的一款超高效真空紫外光源。该款真空紫外光源,具有无电极、低电压、长寿命的特点,能够高效激励多种气体组分(he, ne, ar, kr, xe...) ,相
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  • 高亮度单色聚焦真空紫外光源(bl1010s)
    2020-04-17
    产品概述 product overview fermi bl-1010s聚焦型真空紫外光源经过特殊的结构设计,使用三级差分腔体,通过超高真空阀隔离聚焦毛细管与差分腔,能够使多种工作气体(he, ne, ar, kr, xe...)满足小光斑,气压增量小的要求。 规格说明 specification ● 总通量:>
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  • 高亮度单色聚焦真空紫外光源(bl1100s)
    2020-04-17
    产品概述 product overview 费勉bl1100s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使用多种工作气体(he, xe),满足小光斑,气压增量小的要求。 规格说明 specification ●
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  • 高亮度单色聚焦真空紫外光源(bl1200s)
    2020-04-17
    产品概述 product overview 费勉bl1200s是一款经过特殊设计的高亮度多气体混合的真空紫外光源,包含差分腔体,一个单色腔体,一个多滤片变换装置,一个将聚焦毛细管与差分腔体隔离的闸板阀,能够使用多种工作气体(he, ne, ar, kr, xe...),满足小光斑,气压增量小的
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  • 远程低温等离子处理机
    2021-02-03
    产品概述 product overview 采用自主研发的新型远程低温等离子激励技术,实现等离子发生室和处理室分离,解决了传统电离技术的多种困扰。该款产品属于紧凑型的桌面式等离子处理机,容积为27l,适用于处理小、中型部件及物品,根据不同的需求和工艺要求,可以实现物品表
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  • 高效射频等离子体裂解源
    2020-11-12
    产品概述 product overview 费勉仪器的高效射频等离子体裂解源,采用独创的射频聚焦激励技术,4种高效固态射频源作为驱动电源(13.56mhz/433mhz/915mhz/2450mhz),无需复杂的射频匹配网络,能够有效提高气体的离化效率。在等离子体引出口设置小孔结构,通过调节小孔结构
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