您当前的位置：
cluster自动衬底传样机械臂
查看详细
产品概述 product overview
费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发了圆形传样系统，该腔体采用超高真空兼容材料ss316，形似ufo，侧面连接口可以对接不同的子系统，使样品可以在真空环境下来回自由切换并进行原位测量。
该传样系统机构末端可实现长距离伸缩运动，行程为同类产品中最长（发明专利号：zl
2015 1 0661875.0），同时机械臂末端带有样品抓取头用于样品抓取。其结构简洁高效，使得成本降低、操作简化，同时设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，扩展了应用的范围，已有丰富的对接案例，如mbe、apres、stm等。
欢迎来电获得更多信息。
规格说明 specification
|
|
rdc820 |
rdc520 |
|
腔体内径 |
700mm |
550mm |
|
机械臂安装法兰 |
cf200 |
cf200 |
|
观察口法兰 |
cf150 |
cf100 |
|
对接法兰 |
cf100 |
cf100 |
|
机械臂旋转 |
360°连续旋转 |
360°连续旋转 |
|
机械臂伸缩距离（伸出法兰口） |
820mm |
520mm |
|
拓展能力 |
最多可连8个子系统 |
最多可连6个子系统 |
|
旋转重复精度 |
＜0.1° |
＜0.1° |
|
线性伸缩重复精度 |
＜1mm |
＜1mm |
|
最高烘烤温度 |
120℃ |
120℃ |
视频 video
相关下载 related downloads
