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4inch衬底传递模组
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产品概述 product overview
费勉仪器的cluster传样系统是安装在ufo顶部/底部的机械臂组件，目的是在整个mbe系统中移动衬底。同时搭配线性驱动装置，实现垂直方向0~25mm自由运动，目的是放置和抓取衬底。机械臂末端可搭配3inch/4inch衬底抓取头，最大负载可达1kg。
机械臂通过高扭矩磁耦合驱动器驱动机械臂旋转至所需真空腔体端口，定位基片安装在机械臂前端上，以检测机械臂在系统模块内移动衬底的过程。
规格说明 specification
● 距中心最大伸出长度1350mm
● 距中心最短折叠长度530mm
● 前端最大负载1kg
● 可360°连续旋转
● 升降高度：0≤h≤25mm
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