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cluster自动衬底传样机械臂
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产品概述 product overview
4inch衬底传递模组在升降式磁耦合传样杆基础上增加了电动模组，可以满足4寸衬底大范围内的自动化传输需求，其线性行程最大可达1200mm，升降行程可达25mm。
该模组通过磁耦合驱动线性和升降运动，并在内部设计有防旋转装置，避免内杆旋转倾覆衬底，外磁套旋转运动则通过巧妙设计转化为抓取头的升降运动，实现停放和抓取样品。
该款产品行程及真空侧末端抓取装置均可接受客户定制。
规格说明 specification
● 磁耦合驱动
● 极限真空：可达10-11 mbar
● 材质：超高真空兼容材料
● 不拆卸外部磁铁可烘烤150℃
● 线性运动行程可达1200mm
● 升降行程：25mm
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