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费勉仪器推出了mbe-1000 cluster分子束外延系统，可进行5×3''，4×4''，单片6'', 单片8''衬底外延生长。该系统可实现全自动传样和生长，非常适用于器件的批量生产。生长室采用双温区衬底加热，实现生长温度均匀可控。mbe-1000系统可定制10个蒸发源端口或12个蒸发源端口。
mbe-1000 cluster全自动传样系统将不同腔体集成在圆形传样腔上，采用360°连续旋转的重载机械臂组件可进行10英寸衬底托盘在进样室，预处理室，生长室和存储腔之间传递。
根据客户需求，费勉仪器提供不同型号的热蒸发源、裂解源、电子束蒸发源和气体源。系统可安装rheed、bfm、rga等，实现对薄膜生长的原位监控。系统可以搭配费勉仪器的mbe束流监测光谱系统，实现可重复性和批量性的完全自动化生长。费勉仪器提供mbe操作软件，包括生长工艺程序编写、自动生长控制和不间断数据记录三大功能，可以执行生长工艺程序控制挡板运动，源炉温度，衬底温度，衬底旋转速度和方向。控制软件包括温度曲线，真空压力曲线，电源输出功率曲线，各系统间传样等工艺需求功能。
| 配置 | mbe-1000 cluster 分子束外延系统 | |
| 生长室 | 腔体尺寸 | 960mm i.d. |
| 液氮冷屏 | 标配 | |
| 衬底加热器最高温度 | 1000℃ | |
| 衬底加热器温度稳定性 | ±0.2℃ | |
| 衬底最大尺寸 | 8inch | |
| 衬底最大旋转速度 | 40rpm | |
| 蒸发源配置 | 12xcf150 | |
| 独立的蒸发源挡板 | 电机驱动 | |
| 烘烤温度 | 200℃ | |
| rheed | 15~30kev | |
| rga | 0-200amu | |
| 预处理室 | 预处理加热器最高温度 | 600℃ |
| 储存室 | 样品停放台 | 10个 |
| 进样室 | 样品停放台 | 10个 |
| 红外烘烤箱 | 选配 | |
| 传样室 | 传样法兰 | 矩形法兰 |
| 机械臂伸缩距离 | 1300mm | |
| mbe软件 | guide软件 | 标配 |
| 选配 | 出样室 | 选配 |
| ccd相机 | 选配 | |
| 手套箱 | 选配 | |
| 污染物回收系统 | 选配 | |
| 二级磷回收系统 | 选配 | |
| 真空照明系统 | 选配 | |
| 泵车 | 选配 | |
| 原子吸收光谱束流监测系统aafm-3 | 选配 | |
| 衬底真实温度监控系统btm-100 | 选配 | |
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