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低温蒸发源


电子束源
碱金属源


中温蒸发源


射频等离子源
氢氧热裂解源
ia


冷口或热口



viiia

(h)

iia





iiia
iva
va
via
viia
(he)


(li)


(be)
(b)
(c)
(n)
(o)
(f)
(ne)


(na)


(mg)
iiib
ivb
vb
vib
viib
viiib
ib
iib

(si)
(p)
(s)
(cl)
(ar)


(k)


(ca)
(sc)
(ti)
(v)



(co)

铜(cu)
(zn)
(ga)
(ge)
(as)
(se)
(br)
(kr)



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镧系
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镧系
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