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mbe800p分子束外延系统-凯发k8官网下载客户端中心

这款研究应用设备配备12个蒸发源安装口,灵活适用于多种材料体系研究,能单次外延3片3inch或单片6inch衬底,具备简洁友好的操作界面和模块化维护设计,结构紧凑且节能高效,特别采用液氮冷屏和低功耗泵组,实现高性能与成本节约。

规格说明
配置mbe-800p 分子束外延系统
生长室
腔体尺寸650mm i.d.
液氮冷屏标配
衬底加热器最高温度1000℃
衬底加热器温度稳定性±0.2℃
衬底最大尺寸6inch
衬底最大旋转速度60rpm
蒸发源配置12×cf100
独立的蒸发源挡板电机驱动
烘烤温度200℃
rheed15~30kev
rga0-200amu
预处理预处理加热器最高温度
600℃
进样室样品停放台6个
红外烘烤灯选配
mbe软件guide软件加配
选配ccd相机选配
手套箱选配
污染物回收系统选配
真空照明系统选配
泵车选配
真空照明系统
选配
原子吸收光谱束流监测系统aafm-3选配
衬底真实温度监控系统btm-100选配


标签: 超高真空mbe
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