费勉仪器提供的icp远程等离子体辅助ald设备主要由等离子体模块，气路模块和反应腔组成，可提供定制ald系统凯发k8国际唯一的解决方案，满足客户不同样品尺寸和反应条件的需求。
| ● 使用模式：兼容连续沉积和驻留沉积模式 | ● 前驱体气路：多路输入结构，可依客户定制 | ● 温度准确性：±1℃ |
| ● 适用气体：o2，h2，n2，nh3可用于产生等离子体 | ● 反应腔温度均匀性：≥99% | ● 等离子体电源：300w 射频电源（含自动匹配器） |
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