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费勉设计一款多气路面板用于提供优于100ppt级别高纯紫外光源工作气体，包含 he, ne, ar, kr, xe...等多种工作气体，提高光子分辨率，延长灯头使用寿命。

规格说明

● 精密气体流量控制：0.1sccm-10sccm	● 纯度：纯化后气体纯度优于100ppt
● 多路气体切换	● 全金属vcr超高纯气路标准设计

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