费勉仪器可提供传统管式炉cvd设备和等离子体增强化学气相沉积（pecvd）设备。由于等离子体的存在，pecvd中发生薄膜沉积的温度会远远低于传统cvd中的薄膜沉积温度。
| ● 炉膛尺寸：60/80/100/120×400mm （直径×加热区） | ● 使用温度：最高温度 1200℃，连续工作温度 ≤1100℃ | ● 真空度：<1e-3mbar（机械泵） |
| ● 温控系统：有pid调节、自整定功能 | ● 控温精度：±1℃ | ● 升温速度：推荐 ≤10℃/min ，最快升温速度 15℃/min |
| ● 控温模式：功率5-500w频率13.56mhz自动匹配 | ● 互联情况：可与多种薄膜制备、表征量测设备互联 |
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