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二维材料解理转移系统-凯发k8官网下载客户端中心

该装置可以在超高真空环境中对二维材料进行原位剥离、堆垛,由超高真空腔体、四轴样品停放台、堆垛台、解离台(含压力传感器)、反套显微镜、rheed等部件组成。

技术规格
反套显微镜
特殊内凹对接法兰设计,可使镜头更好对焦在样品表面

变倍机制灵活,手动或电动变倍可选

开放式的成像系统,可自由集成自动聚焦、dic、偏光、光谱分析等功能模块,构建全自动化机器视觉检测系统


超高真空腔体及支架
超高真空标准腔体,ss316不锈钢材质符合超高真空标准的法兰口标准样品托,可集成在样品架上固定支撑结构在设备定位后将系统支撑不易晃动,更加牢
rheed(反射高能电子衍射仪)
由高能电子枪和荧光屏(装在对面视窗上)组成反映样品表面的结构信息可用于研究晶体生长、吸附、表面缺陷等方面
四轴样品停放台
由样品停放台、二维平移台、线性驱动、紧凑型差分旋转组成可同时停放13个旗状样品托顶部的样品停放位可用显微镜观测样品可实现x、y、z、θ方向移动
四轴高低温样品架
样品台温度范围:110k-600k可实现x、y、z、θ方向移动

rheed屏显微镜
由显微镜、显微镜支架、三棱镜、遮光罩组成90°反射光路 结构紧凑
机械手
可实现各停放台之间样品托的转移


解离台
由解离台、紧凑型差分旋转、三角调平机构组成通过三角调平机构来实现解离台上单晶材料的水平度控制与顶部的堆垛台用铜辫子连接导冷解离台内置压力传感器


标签: 超高真空mbe
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