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液化型高纯臭氧系统-凯发k8官网下载客户端中心

● 全金属密封臭氧液化池
● 无硅胶吸附剂
● 闭循环制冷机自动控温
● 提纯速度快,准备时间只需30分钟；提纯1小时，能产出约4标升高纯臭氧气体，可满足大部分用户十小时以上的生长需求
● 设计紧凑，尺寸 400*700*1200mm(高）
● 操作简便，即起即停
● 高纯臭氧应用领域：化学气相沉积（cvd），原子层沉积（ald），氧化物生长，表面处理，粒子清洁，光刻胶去除，灰化等。

测试曲线图

—————— 实测饱和蒸汽压数据 ——————	—————— 臭氧输出束流的稳定性和持续性 ——————

—————— 注入腔气压与液化池温度关系 ——————

标签： 超高真空mbe

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