fermi-rfps-200是费勉仪器公司最新生产的一种高效射频等离子体源，通过线圈式结构，能在真空腔体内激发产生等离子体，激励气体种类包括但不限于h2、n2、o2、稀有气体等，具有更好的稳定性以及更精确的操控性，广泛应用于分子束外延系统（mbe）中氮化物生长、氮原子注入和掺杂、氧化物生长、氧原子的注入和掺杂、氢化物生长以及氢原子表面清洗等。
| ● 高效稳定的氮化物、氧化物、氢化物生长 | ● 精确的操控性能，简单易用 | ● 可以根据需求更换引出端口 |
| ● 内有原子筛选孔,使离子体尽可能少的到达衬底 | ● 适用于mbe、真空解理镀膜、氢原子衬底清洗等系统 |
| 类型 | fermi-rfps-200 | |
| 真空兼容性 | cf100标准法兰 | |
| 气体负载 | n2，h2 | o2,h2 |
| 离子产生区材料 | pbn | 石英 |
| 冷却方式 | 水冷 | |
| 进气装置 | vcr1/4接头 | |
| 真空工作距离 | 100-200mm | |
| 射频匹配器 | 13.56mhz/500瓦 | |
| 水冷流速 | >1 l/min | |
| 手动、自动射频匹配器 | 可选 | |
| 等离子体光谱检测 | 可选 | |
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