真空解理镀膜系统可实现高功率激光器巴条的超高真空原位解理（cleaving）、钝化(passivation)和光学镀膜(optical coating)。在超高真空环境下进行激光二极管巴条的原位解理，可获得无缺陷、无污染的单晶解理面。解理后的巴条经过圆形传递腔室（cluster tool）传输到镀膜腔室进行钝化膜或光学膜蒸镀。全流程在优于2*e-10 torr的超高真空环境下进行，实现高质量器件生产。
全自动化机械臂组件安装于圆形传递腔室，具备360°旋转和伸缩功能，可完成托盘在各个作业腔室的自动抓取和放置。机械臂配置激光传感器以及视觉定位系统，以检测机械臂在系统内运动实时状态，并可进行零点位置校正。
超高真空解理系统可实现巴条的手动或批量自动化解理和堆叠，提高生产效率。
镀膜腔室基于费勉标准mbe系统设计，根据钝化层蒸镀工艺需求可配置多种类型蒸发源包括电子束源（e-beam）、热蒸发源（k-cell）、等离子源（plasma）以及裂解源（cracker)。通过使用bfm、qcm、rga、rheed等，可进行膜层实时原位表征。腔室配置多维运动样品停放台，可配合传样及镀膜过程中所需运动。各运动轴搭配光电信号检测系统，保证运动重复性和安全性。镀膜过程可全自动化控制，包括生长工艺recipe编写，自动生长控制以及不间断数据记录三大功能。各类温度以及运动等控制都可在pc端轻松操控，数据曲线读取便捷。
| 快速进出样腔 | |
 | ● 可装载10层样品托盘，单个托盘多工位； ● 红外烘烤灯泡可进行快速样品除气； ● 远程等离子清洗模块，载样托盘和样品架等结构件清洁，可有效提高清洁度和腔室真空度； ● 进样和出样腔室独立操作，提高生产效率； |
| 圆形传递腔室 | |
| ● 侧面多法兰口，可对接多个子系统，且子系统独立作业互不影响； ● 机械臂具备360°旋转和伸缩功能； ● 配合传感器等控制反馈实现全自动化传样； 真空解理腔 ● 实现巴条解理和堆叠； ● 单次可批量处理多工位样品； |
| 钝化镀膜腔 | |
 | ● 多个底部法兰口，可兼容热炉源、电子束蒸发源、射频等离子源、裂解源等； ● 衬底加热器温度650±0.5℃； ● 实时束流监测，qcm晶振或bfm束流规； ● 实时膜层监控rheed； ● 多轴样品停放台实现样品原位翻转或配置独立翻转室； ● 自动生长系统，不间断数据记录； |
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