pld 300 是费勉仪器专为大学和科研院所开发的脉冲激光沉积设备，用于生长超导薄膜、铁电材料、热电材料、压电材料以及复杂氧化物的多层膜和异质膜。系统可实现对化学成分较复杂的复合物材料进行材料生长，同时生长过程中可引入活性或惰性及混合气等工艺气体，以提高薄膜生长品质。
pld 300 | 模块描述 | 配置参数 | |
生长室 | 腔体 | 腔体材料 | ss316 |
腔体尺寸 | 300mm i.d. | ||
烘烤温度 | max.200℃ | ||
本底真空 | < 5×10-10mbar | ||
抽气系统 | 450l/s分子泵 10l/s机械泵 | ||
真空测量系统 | 全量程规 电容薄膜规 | ||
离子泵/tsp/neg | 选配 | ||
样品架 | 样品尺寸 | 2 inch | |
衬底加热方式 | 辐射加热/激光加热 | ||
衬底加热器最高温度 | 1200℃ | ||
衬底最大旋转速度 | 30rpm | ||
靶台 | 靶材尺寸 | 6×1 inch或3×2 inch | |
旋转方式 | 公转 自转 | ||
独立的靶台挡板 | 气动驱动 | ||
质量流量计 | 三路/200sccm | ||
部件 | qcm | 标配 | |
差分rheed | 15kev-30kev | ||
ion source | 选配 | ||
rga | 选配 | ||
快速进样室 | 腔体 | 腔体材料 | ss316 |
烘烤温度 | 120℃ | ||
本底真空 | < 5×10-8mbar | ||
抽气系统 | 80l/s分子泵 10l/s机械泵 | ||
真空测量系统 | 全量程规 | ||
部件 | 样品停放台 | 3工位 | |
传样杆 | cf35/600mm | ||
软硬件集成 | guide软件 | 标配 | |
烘烤系统 | 标配 | ||
系统支架 | 标配 | ||
真空照明系统 | 标配 | ||
激光器 | 进口/国产选配 | ||
ksa图像分析系统 | 选配 | ||
kaufman离子源 | 选配 | ||
红外测温仪 | 选配 | ||
泵车 | 选配 | ||
等离子清洗 | 选配 | ||
ccd相机 | 选配 | ||
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