您当前的位置：
cluster自动衬底传样机械臂
查看详细
产品概述 product overview
直线互联系统与圆型传样系统互为补充，均可实现样品在超高真空的环境下在不同系统间的传递，但是侧重点略有不同。圆形传样系统相对较为紧凑，适合于小型实验室级别的互联搭建；直线互联系统单次传递的样品尺寸和数量更多，适合于较大型的互联搭建。同时圆形传样系统和直线传样系统也能实现互相搭配，例如圆形搭配直线，圆形搭配圆形，或者直线再扩展。费勉仪器已经有丰富的设计和搭建经验和案例供用户参考。
费勉仪器的直线互联系统采用了自有知识产权（发明专利号：zl201611011730.7）， 能够实现传输小车自动穿越法兰接口和闸板阀，方便样品长距离的马达化传输。同时与现有的很多互联系统不同，我们将小车的耦合装置置于系统的底部，这样的结构更加方便样品的观察和操作同时节约了安装空间，使系统也更加美观。
规格说明 specifications
|
|
ldc1000 |
| 腔体内径 | 150mm |
| 系统对接法兰 |
nw63cf（可定制） |
| 观察口法兰 |
cf63 (可定制) |
| 最小单元长度 | 2米 |
| 最长长度 | 无限制 |
|
泵组搭配 |
分子泵组，复合离子泵组（ion neg） |
|
样品运动速度 |
3 米/分钟 |
| 极限真空 |
＜3x 10-10 mbar |
| 线性重复精度 |
＜0.1mm |
| 最高烘烤温度 |
150℃ |
视频 video
相关下载 related downloads
