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cluster自动衬底传样机械臂
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产品概述 product overview
圆型传样互联系统与直线互联系统互为补充，均可实现样品在超高真空的环境下在不同系统间的传递，但是侧重点略有不同。圆形传样系统相对较为紧凑，既适合于小型实验室级别（例如，1个或者2个rdc模块）的互联搭建，也可实现大型设备平台的搭建（3个以上rdc模块的互联）。同时圆形传样互联系统和直线互联系统也能实现互相搭配，例如圆形搭配直线，圆形搭配圆形，或者直线再扩展。费勉仪器已经有丰富的设计和搭建经验和案例供用户参考。
费勉仪器的圆形传样互联系统采用了自有知识产权（发明专利号：zl 2015 1 0661875.0）的rdc模块；同时机械臂末端带有样品抓取头用于样品抓取，其结构简洁高效，使得成本降低、操作简化，同时设计上注重不同超高真空实验系统的兼容性，扩展了应用的范围，已有丰富的对接案例，如mbe、arpes、stm等。
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