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规格说明

● 安装法兰：dn 350cf；	● 衬底尺寸：3英寸；	● 加热器：sic加热器；	● k型热偶测温；	● 旋转速度：0~30 rmp；
● 温度范围：rt-1000℃；	● z轴行程：50mm；	● 定制长度；	● 应用领域：薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射

标签： 超高真空mbe

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