样品架-凯发k8官网下载客户端中心

产品概述 product overview 费勉仪器提供的6轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制，它主要由低温样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下使用。样品台可以在x、y、z方向大

产品概述 product overview ● 安装法兰：dn 350cf ● 衬底尺寸：3英寸 ● 加热器：sic加热器 ● k型热偶测温 ● 旋转速度：0~30 rmp ● 温度范围：rt-1000℃ ● z轴行程：50mm ● 定制长度 ● 应用领域：薄膜制备、脉冲激光沉积、磁控溅射 相关配件

产品亮点 highlights ● 液氦制冷 ● 多自由度：最高可达6自由度 ● 温度范围：6k~400k ● 降温速度：rt至10k，<15分钟 ● 兼容液氮：<65k 运行（带泵） 相关配件 options ● 样品停放台 ● 双样品低温样品台 ● 高温样品台（可选电子束加热） ●

产品概述 product overview 4轴mbe高低温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)。采用液氮制冷，样品台最低温可达80k。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200k。主要由样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位

产品概述 product overview 4轴mbe高温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200k。主要由样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料，可以在超高真空下

产品概述 product overview 5轴mbe高温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)、面内旋转角r3（azimuthal）。其中，x、y、z、r1通过xyz-r1真空位移台实现， r3通过样品架头的齿轮传动机构实现。独特的灯丝加热结构，保证样品托温度可达1200k