4轴mbe高低温样品架可提供样品在x、y、z三个方向的平动和绕z轴的旋转角r1(polar)。采用液氮制冷,样品台最低温可达120k。独特的灯丝加热结构,保证样品托温度可达1200k。主要由样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台三部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。
● 样品台最低温:120k; | ● 样品托最高温:1200k (辐射加热), 1500k(电子束加热); | |
● 多自由度: x、y、z、r1四个自由度运动; | ● 精准控温:pid控温精度可达±0.1k; | ● 兼容多种功能模块; |
r1轴向旋转 | ±179° |
x/y 行程 | 15mm(±7.5mm) |
z 行程 | 最大 300 mm |
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