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样品架-凯发k8官网下载客户端中心

技术规格

● 加热器材料：sic；	● 样品托最高温：1200k；	● 两自由度：z和r1；	● 精准控温：pid控温精度可达±0.1k；
● 兼容掩膜板（mask）；	● 重复定位精度：2μm；	● 旋转角度: 0°，90°，180°，270°

r1轴向旋转	360°
z 行程	75mm

标签： 超高真空mbe

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