标准低温(lt)和中温(mt)蒸发源的最大工作温可达1100℃ 和1500℃。蒸发源内部采用独特的加热丝设计,可确保坩埚受热均匀,同时有更好的使用稳定性,和更长的使用寿命。中间采用多层线接触式钽筒隔热,大大降低了热辐射损失,提高了热量利用率,使其在较低的功率下即可达到较高的工作温度。
蒸发源水冷系统采用内置水冷套设计,屏蔽了高温加热区域对腔体内壁的辐射,可有效减少腔壁放气,为样品生长提供了更好的真空条件,同时提高了温度测量精度。
除了标准加热丝外,热口和冷口型的加热丝设计可以满足特殊要求的蒸发材料。
● 加热系统:辐射加热,带有pbn支撑片的ta加热丝 | ● 兼容:oxide mbe | ● 温度稳定性:≤0.1%,取决于pid温控器 |
● 超高真空兼容,极限真空10-11mbar | ● 内置水冷模块 | ● 挡板:可选ta挡片(手动/气动) |
法兰尺寸 | 坩埚尺寸 | 工作温度 | 最高除气温度 | 热偶类型 | 温度稳定性 | 型号 |
nw38cf(o.d. 2.75”) | 10 cc | 100~1100℃ | 1200℃ | k | ±0.1% | e38lt |
300~1500℃ | 1600℃ | c | e38mt | |||
nw63cf(o.d. 4.50”) | 25/50 cc | 300~1100℃ | 1200℃ | k | ±0.1% | e63lt |
300~1500℃ | 1600℃ | c | e63mt |
nw38cf | nw63cf |
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