真空传递装置及真空系统
专利号：zl 2022 1 1597547.5

可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统
专利号：zl 2022 1 0706197.5

一种中小型磁偏转电子束蒸发源磁路的构建方法
专利号：zl 2020 1 0312149.9

一种超高真空下原位多功能样品处理装置
专利号：zl 2020 1 0834599.4

一种狭缝聚焦型超高真空运行的磁偏转电子束蒸发源
专利号：zl 2020 1 0312179.x

一种利用差分抽气系统实现超高真空蒸镀的装置
专利号：zl 2020 1 0115439.4

一种报警电路及适用于真空管道系统的过阀报警系统
专利号：zl 2019 1 0864549.8

一种超稳定三电极电子束蒸发源
专利号：zl 2019 1 0516095.5

一种具有催化裂解功能的蒸发源
专利号：zl 2019 1 0501672.3

一种plc继电器快速分配电路
专利号：zl 2019 1 0135250.9

超高真空传递系统的样品传递装置
专利号：zl 2017 1 1237930.9

不同真空度腔室间的传样互联装置
专利号：zl2017 1 1236807.5