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科技创新是企业发展的源动力，费勉一向注重自主知识产权的原始积累，通过技术研发和创新不断推动产品升级，提升公司核心创造力。
截止2024年1月底，我司已获授权专利151个
此外,费勉仪器已获19个发明专利，另有大量发明专利、实用新型专利在授权或申请中

用于超高真空腔体的等离子体清洗抛光装置
专利号：zl2017 1 1236830.4

适用于超高真空环境的紧凑型无液氮1k低温制冷装置
专利号：zl 2016 1 1154635.2

一种磁力传动机构及应用该传动机构的真空管道系统
专利号：zl 2016 1 1011730.7

一种集成冷却装置的高亮度紫外光源
专利号：zl 2016 1 0791833.3

一种真空紫外光源装置
专利号：zl 2016 1 0261838.5

真空原位反应装置
专利号：zl 2015 1 0761877.7

一种机械传递臂及真空传递腔
专利号：zl 2015 1 0661875.0

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