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快速进样门
2020-04-14

产品概述 product overview 快速进样门可方便手动装载样品进出真空腔室，已广泛应用于不同系统。进样门上装有弹簧把手锁紧装置。独特的专利设计(实用新型专利号：201720665992.9）避免了内部压力过大，损伤预抽室。该款产品常规型号使用弹性viton o圈密封，适用于真空
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样品抓取头
2020-04-14

产品概述 product overview 样品抓取头通过安装在其他传样装置上，如磁耦合传样杆（mta），来实现将样品传递到指定位置。通过推动并且旋转抓取头90°来锁紧或者松开样品托，小巧的结构使其能通过很小的管道。规格说明 specification ● 型号：th100 ● 采用超高
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cluster自动衬底传样机械臂
2021-02-03

产品概述 product overview 费勉仪器的cluster传样系统是安装在ufo顶部/底部的机械臂组件，目的是在整个mbe系统中移动衬底。同时搭配线性驱动装置，实现垂直方向0~25mm自由运动，目的是放置和抓取衬底。机械臂末端可搭配3inch/4inch衬底抓取头，最大负载可达1kg。机械
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样品停放台
2020-04-14

产品概述 product overview 样品停放台适配旗形样品托，可安装在线性或旋转驱动上，容纳多个样品托。费勉有多种型号可供选择，以应对不同应用。规格说明 specification ● 采用超高真空兼容材料 ● 匹配旗形样品托 ● 多种型号可供选择产品尺寸 dimension drawing
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4inch衬底传递模组
2021-02-05

产品概述 product overview 4inch衬底传递模组在升降式磁耦合传样杆基础上增加了电动模组，可以满足4寸衬底大范围内的自动化传输需求，其线性行程最大可达1200mm，升降行程可达25mm。该模组通过磁耦合驱动线性和升降运动，并在内部设计有防旋转装置，避免内杆旋转倾覆
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圆形传样系统
2020-12-03

产品概述 product overview 费勉仪器为超高真空复杂系统的样品传递专门设计研发了圆形传样系统，该腔体采用超高真空兼容材料ss316，形似ufo，侧面连接口可以对接不同的子系统，使样品可以在真空环境下来回自由切换并进行原位测量。该传样系统机构末端可实现长距离伸缩
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