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材料沉积表

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时间：2021.08.25来源 ：点击次数：808次
材料 符号（原子序数）
 熔点(℃)
 密度（g/cm³）
 z-ratio
 饱和蒸气压(℃)
 建议蒸发源*
 建议坩埚*
 注意事项
e-8torr
 e-6 torr
 e-4torr
铜 cu（29）
 1084 8.96 0.437 727 857
 1017
 e38mt/e63mt/e38ht al2o3/mo/ta
 -




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