mbe系统中通常需要对多个蒸发源束流进行精准控制,较为适合的方法是使用气动挡板与之配套,而气动挡板需要接入气路并通常使用电磁阀实现气动挡板的开关。
费勉仪器的8路气动挡板控制器可以连接控制最多8路电磁阀组,提供手动和自动两种控制模式。在手动模式下可使用无线遥控器操作气动挡板;在自动模式下则使用费勉仪器自主开发的软件,可进行基本的开关控制,及实现多个气动挡板之间组合的复杂时序控制。
● 用于控制最多8路气动挡板 | ● 可切换无线遥控或软件自动控制两种操作模式 | ● 配套控制软件,可进行基本的气动挡板开关控制以及复杂的时序控制 |
● 2位5通电磁阀组-8路 | ● usb-rs485通讯线缆 | ● usb延长线:5米,10米 |
规格说明 | |||
额定电压 | 85-264vac | 额定功率 | 60 |
控制方式 | 手动(无线遥控器)/自动(软件) | 通讯方式 | rs-485 |
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