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| ● 液氦制冷； | ● 多自由度：最高可达6自由度； | ● 温度范围：6k~400k； |
| ● 降温速度：rt至10k，<15分钟； | ● 兼容液氮：<65k 运行（带泵） | ● 高温样品台（可选电子束加热）； |
| r1轴向旋转 | 360°（-180°， 180°） |
| r2俯仰角旋转 | 60°（-15°， 45°） |
| r3面内角旋转 | 240°（-120°， 120°） |
| x / y行程 | 25mm（±12.5mm） |
| z行程 | 最大650mm |
| 4-轴 | 5a-轴 | 5f-轴 | 5.5-轴 | 6-轴 | |
| xy行程 | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
| z行程 | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm |
| xyz驱动 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| xyz精度 | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm |
| r1范围 | 360°（-180°， 180°） | 360°（-180°， 180°） | 360°（-180°， 180°） | 360°（-180°， 180°） | 360°（-180°， 180°） |
| r1控制方式 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| r1控制精度 | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° |
| r1减速比 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 |
| r2（flip)范围 | —— | —— | 60°（-15°， 45°） | 60°（-15°， 45°） | 60°（-15°， 45°） |
| r2驱动 | —— | —— | 马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
| r2精度 | —— | —— | ＜0.1° | ＜1° | ＜0.1° |
| r2减速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
| r3（azi)范围 | —— | 240°（-120°， 120°） | —— | 240°（-120°， 120°） | 240°（-120°， 120°） |
| r3驱动 | —— | 手动/马达 | —— | 手动 | 手动/马达 |
| r3精度 | —— | ＜0.1° | —— | 手动＜1° | ＜0.1° |
| r3减速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
| 温度范围 | ＜4-325k | ＜5-325k | ＜5-325k | ＜6-325k | ＜6-325k |
| 最低温度 | ＜4k | ＜5k | ＜5k | ＜6k | ＜6k |
| 控制精度 | ＜0.01k | ＜0.01k | ＜0.01k | ＜0.01k | ＜0.01k |
| 降温时间 | ＜3 hour (rt-6k) | ＜4 hour (rt-6k) | ＜4 hour (rt-6k) | ＜5 hour (rt-6k) | ＜6 hour (rt-6k) |
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