费勉仪器提供的4轴闭循环低温样品架可以实现样品位置以及姿态的精确控制,它主要由低温样品杆、温度控制系统、xyz-r1位移台、马达控制系统四部分组成。整个样品架及位移台均使用无磁材料,可以在超高真空下使用。样品台可以在x、y、z方向大范围移动,并可实现绕z轴的旋转运动(r1)。 马达控制软件可以与scientaomicron的分析器联动,实现automapping功能。
● 运行成本低:采用风(水)冷式gm制冷机提供冷量 | ● 多自由度:x、y、z、r1 均可实现马达控制 | ● 操作便捷:即插即用,可长时间稳定运行 | ● 多种功能模块可选 |
● 超低温:样品台最低稳定可达4k | ● 精准控温:pid控温精度可达10mk | ● 快速变温:从室温至4k,小于4小时 |
● 样品停放台: | ● 4k四轴低温台 | ● 高温样品台(可选电子束加热) | ● 四电极输运测量模块 |
● yag台 | ● 样品悬浮模块 | ● 低温解理模块 |
r1轴向旋转 | 360°(-180°, 180°) |
x / y行程 | 25mm(±12.5mm) |
z行程 | 最大650mm |
4-轴 | 5a-轴 | 5f-轴 | 5.5-轴 | 6-轴 | |
xy行程 | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
z行程 | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm | 最长700mm |
xyz驱动 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
xyz精度 | <0.01mm | <0.01mm | <0.01mm | <0.01mm | <0.01mm |
r1范围 | 360°(-180°, 180°) | 360°(-180°, 180°) | 360°(-180°, 180°) | 360°(-180°, 180°) | 360°(-180°, 180°) |
r1控制方式 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
r1控制精度 | <0.1° | <0.1° | <0.1° | <0.1° | <0.1° |
r1减速比 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 |
r2(flip)范围 | —— | —— | 60°(-15°, 45°) | 60°(-15°, 45°) | 60°(-15°, 45°) |
r2驱动 | —— | —— | 马达 | 手动/马达 | 手动/马达 |
r2精度 | —— | —— | <0.1° | <1° | <0.1° |
r2减速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
r3(azi)范围 | —— | 240°(-120°, 120°) | —— | 240°(-120°, 120°) | 240°(-120°, 120°) |
r3驱动 | —— | 手动/马达 | —— | 手动 | 手动/马达 |
r3精度 | —— | <0.1° | —— | 手动<1° | <0.1° |
r3减速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
温度范围 | <4-325k | <5-325k | <5-325k | <6-325k | <6-325k |
最低温度 | <4k | <5k | <5k | <6k | <6k |
控制精度 | <0.01k | <0.01k | <0.01k | <0.01k | <0.01k |
降温时间 | <3 hour (rt-6k) | <4 hour (rt-6k) | <4 hour (rt-6k) | <5 hour (rt-6k) | <6 hour (rt-6k) |
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