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材料沉积表

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时间：2023.01.05来源 ：点击次数：753次
材料 符号（原子序数）
 熔点(℃)
 密度（g/cm³）
 z-ratio
 饱和蒸气压(℃)
 建议蒸发源*
 建议坩埚*
 注意事项
e-8torr
 e-6 torr
 e-4torr
铟 in（49）
 156 7.31 0.841 487 597
 742
 e38mthl/e63mthl al2o3/pbn -




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