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材料沉积表

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时间：2021.08.25来源 ：点击次数：929次
材料 符号（原子序数）
 熔点(℃)
 密度（g/cm³）
 z-ratio
 饱和蒸气压(℃)
 建议蒸发源*
 建议坩埚*
 注意事项
e-8torr
 e-6 torr
 e-4torr
铝 al（13）
 660.25 2.702 1.08 807 972
 1200
 e38mtcl/e63mtcl
 pbn
 降温速率应尽量低，建议速率为1-2℃/s，填料不超过坩埚容积1/3，角度增加时应再减少填料量，建议每次使用完后更换坩埚






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