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材料沉积表

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时间:2021.11.05来源 :点击次数:643次
材料 符号(原子序数)
熔点(℃)
密度(g/cm³)
z-ratio
饱和蒸气压温度(℃)
建议蒸发源*
建议坩埚*
注意事项
e-8torr
e-6 torr
e-4torr
ta(73)
2996 16.65 0.262 1960 2240
2590
e38eb/ebv



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