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材料沉积表

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时间：2022.09.27来源 ：点击次数：649次
材料 符号（原子序数）
 熔点(℃)
 密度（g/cm³）
 z-ratio
 饱和蒸气压温度(℃)
 建议蒸发源*
 建议坩埚*
 注意事项
e-8torr
 e-6 torr
 e-4torr
金 au（79）
 1064 19.32 0.381 807 947
 1132
 e38mt/e63mt/e38ht
 al2o3/pbn


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